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表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响

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表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响

分类:
粗糙度轮廓仪使用方法
作者:
马尔粗糙度仪
来源:
2020/06/04 17:52
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       由于光学元件的表面粗糙度是表征其表面质量的重要指标,因此人们不断地对表面粗糙度测量技术进行改进,以提高测量精度。但是许多实验表明,在测量超光滑表面粗糙度时,对于同一表面,不同类型的表面轮廓仪往往会得到不同的测量结果,从而使测量结果的可比性成为一个难题。

光学精密工程

    为此,本文利用线性系统理论方法,分析了表面轮廓测量仪的带宽对测量结果的影响,并采用离散傅里叶变换法计算了表面轮廓测量仪的带宽对测量结果的影响。研究表明,表面轮廓仪的带宽对表面粗糙度测量有很大影响,带宽越宽给出的测量值越大,也越接近真实值。所以,两种不同类型的轮廓测量仪的测量结果通常无法直接进行比较。

 
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