便携式光学表面轮廓仪的性能介绍

便携式光学表面轮廓仪的干涉成像系统采用Ｍｉｒａｕ干涉显微物镜，放大倍率为２０倍；采用ＰＺＴ（压电陶瓷微位移器）实现相移的位移系统；测量台和整体框架的机械机构设计可实现正置和倒置两种工作模式，使被测件的横向尺寸不受限制，提高了仪器的适用性；通过数字ＣＣＤ与软件系统采集处理干涉图像，对干涉图进行解算获得被测面的轮廓。若需要对被测件的批量测量，切换被测件时被测面和系统么间的工作距离变化很小，只需微小的调节便可Ｗ快速测量，具有较高的测量效率。

便携式光学表面轮廓仪的实物外观如图所示，由显示器、工控机、驱动电源箱和干涉显微镜系统组成：

仪器的主要技术指标为：

技术	9999340 - MESSPLATZ XC 2 MarWin MarSurf	9036396 - Messplatz MarSurf XC 2 mit ST 500 ohne PC
接触速度（Z 方向）	0.1 至 1 mm/s	0.1 至 1 mm/s
测杆长度	175 mm, 350 mm	175 mm, 350 mm
测量速度（文本）	0.2 mm/s 至 4 mm/s	0.2 mm/s 至 4 mm/s
针尖半径	25 µm	25 µm
扫描长度末尾（X 方向）	120 mm	120 mm
分辨率	Z 方向，相对探针针头：0.38 µm（350 mm 测杆）/ 0.19 µm（175 mm 测杆）	Z 方向，相对探针针头：0.38 µm（350 mm 测杆）/ 0.19 µm（175 mm 测杆）
	在 Z 方向，相对于测量系统：0.04 µm	在 Z 方向，相对于测量系统：0.04 µm
扫描长度开始（X 方向）	0.2 mm	0.2 mm
取样角	在平滑表面上，取决于偏差：后缘高至 88°，前缘高至 77°	在平滑表面上，取决于偏差：后缘高至 88°，前缘高至 77°
定位速度（文本）	X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s	X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
	Z 方向：0.2 至 10 mm/s	Z 方向：0.2 至 10 mm/s
导块偏差	< 1 µm（超过 120 mm）	< 1 µm（超过 120 mm）
测量范围 mm	（Z 方向）50 mm	（Z 方向）50 mm
扫描长度（文本）	0.2 mm 至 120 mm	0.2 mm 至 120 mm
测量力 (N)	1 mN 至 120 mN	1 mN 至 120 mN

通过Ｈ维图像显示功能，可Ｗ方便的观察被测表面的Ｈ维形貌和细节特征。该功能具有下特点：

（１）支持光照效果、网格效果、漫反射效果兰种显示模式；

（２）可任意旋转、缩放，实现３６０度全方位观看；

（３）光强可调，便于观察细节形貌；

（４）支持横纵比例与采样密度调节，实现信息量与处理速度的平衡。

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