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便携式光学表面轮廓仪

分类:
粗糙度轮廓仪使用方法
作者:
马尔粗糙度仪
来源:
2020/06/06 20:39
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便携式光学表面轮廓仪的性能介绍

便携式光学表面轮廓仪的干涉成像系统采用Mirau干涉显微物镜,放大倍率为20倍;采用PZT(压电陶瓷微位移器)实现相移的位移系统;测量台和整体框架的机械机构设计可实现正置和倒置两种工作模式,使被测件的横向尺寸不受限制,提高了仪器的适用性;通过数字CCD与软件系统采集处理干涉图像,对干涉图进行解算获得被测面的轮廓。若需要对被测件的批量测量,切换被测件时被测面和系统么间的工作距离变化很小,只需微小的调节便可W快速测量,具有较高的测量效率。

便携式光学表面轮廓仪的实物外观如图所示,由显示器、工控机、驱动电源箱和干涉显微镜系统组成:

便携式光学表面轮廓仪

仪器的主要技术指标为:

技术 9999340 - MESSPLATZ XC 2 MarWin MarSurf 9036396 - Messplatz MarSurf XC 2 mit ST 500 ohne PC
接触速度(Z 方向) 0.1 至 1 mm/s 0.1 至 1 mm/s
测杆长度 175 mm, 350 mm 175 mm, 350 mm
测量速度(文本) 0.2 mm/s 至 4 mm/s 0.2 mm/s 至 4 mm/s
针尖半径 25 µm 25 µm
扫描长度末尾(X 方向) 120 mm 120 mm
分辨率 Z 方向,相对探针针头:0.38 µm(350 mm 测杆)/ 0.19 µm(175 mm 测杆) Z 方向,相对探针针头:0.38 µm(350 mm 测杆)/ 0.19 µm(175 mm 测杆)
  在 Z 方向,相对于测量系统:0.04 µm 在 Z 方向,相对于测量系统:0.04 µm
扫描长度开始(X 方向) 0.2 mm 0.2 mm
取样角 在平滑表面上,取决于偏差:后缘高至 88°,前缘高至 77° 在平滑表面上,取决于偏差:后缘高至 88°,前缘高至 77°
定位速度(文本) X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s
  Z 方向:0.2 至 10 mm/s Z 方向:0.2 至 10 mm/s
导块偏差 < 1 µm(超过 120 mm) < 1 µm(超过 120 mm)
测量范围 mm (Z 方向)50 mm (Z 方向)50 mm
扫描长度(文本) 0.2 mm 至 120 mm 0.2 mm 至 120 mm
测量力 (N) 1 mN 至 120 mN 1 mN 至 120 mN

通过H维图像显示功能,可W方便的观察被测表面的H维形貌和细节特征。该功能具有下特点:

(1)支持光照效果、网格效果、漫反射效果兰种显示模式;

(2)可任意旋转、缩放,实现360度全方位观看;

(3)光强可调,便于观察细节形貌;

(4)支持横纵比例与采样密度调节,实现信息量与处理速度的平衡。

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