测量速度（文本）

0.1 mm/s to 5 mm/s;

for roughness measurements

0.1 mm/s to 0.5 mm/s are recommended

扫描长度末尾（X 方向）

130 mm

分辨率

2 nm

扫描长度开始（X 方向）

0.1 mm

定位速度（文本）

0.1 mm/s to 30 mm/s

输入

Standard probe LP-D 14-10-2/60°

测量范围 mm

10 mm (100 mm probe arm)

20 mm (200 mm probe arm)

轮廓分辨率

2 nm

扫描长度（文本）

0.1 mm to 130 mm

测量力 (N)

1 mN to 30 mN, software-adjustable