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光学式表面粗糙度轮廓仪和机械式表面粗糙度轮廓仪有什么区别

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光学式表面粗糙度轮廓仪和机械式表面粗糙度轮廓仪有什么区别

分类:
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作者:
粗糙度轮廓仪
来源:
2020/12/05 20:15
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目前,测量表面粗糙度分为两类方法:提供表面图像或层析图,另一种是光散射法,它提供表面定量的统计信息,它也能给出表而RMS粗糙度或功率谱但不是表面层析图。图3示出不同类型表面特性及其适于这些特性的测量技术。其中表面特性横向尺度为表面空间波长或简称表面波长,取对数标尺。
各种显微镜给出表面形貌:从光学显微镜,扫描电子显微镜和透射电子显微镜到扫描触针式显微镜,这种扫描触针式显微镜能提供原子量级的纵向和横向表面层析图。
扫描隧道显微镜(STM-scanning Tunnelling Microscope).可以用于测量导电表面并给出层析图,对于大多数非导电的光学表面,表面层析图和轮廓可以用原子力显微镜(AFM-atomic Force Microscope)测量。透射电子显微镜(TEM-transmisson Electron Microscope)和一种新型扫描透射电子显微镜(STEM-scanning Transmission Electron Microscpe)给出薄膜表面轮廓图是非常适用的。一种外差式相衬或称Nomarski光学显微镜较之STM观测光滑表面粗糙度更有利,其使用倍率约100X~1000X之间。


对于大多数光滑表面,用上述显微镜、机械式或光学式轮廓仪都可以给出表面粗糙度定量信息。此外,用下面将提到的光散射法也能给出表面粗糙度的定量特性。机械式轮廓仪和光学表面粗糙度仪的校准和定标在美国国家标准技术研究所和英国国家物理实验室。

光学式和机械式轮廓仪的区别
  机械式轮廓仪 光学式轮廓仪
优点

有大的横向和高度测最节园

价格较便宜

不会损伤表面

使用方便/快速/简单/信息大

在亚纳米区域灵敏度更高

缺点

易损伤表面


测量时间长

横向分辨率受限于光学系统特性和光束照射表面

被测的不高于入射波长之半

价格贵