在国标(GB35os一83)中指出,“是指加工表面上具有较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特性.一般由所采用的加工方法和(或)其它因素形成。”又指出(BGlo31一83)’“对表面粗糙度的要求不适用于表面缺陷。在评定过程中不应把表面缺陷(如沟槽、气孔、划痕等)包含进去。”

但是,美国光学学会第一位女主席,光学表面研究权威J.M.Benent博士指出:表面粗糙度可以多种形式表征:抛光后残留的随机方向上的微小痕迹;金刚石车削金属反射镜微细沟槽结构,人手不留意触摸光学表面留下的划道;镀膜表面附加的几分之一纳米的粗糙波纹以及比光学膜更粗糙得多的磁光膜表面等。

上述两种提法似乎不太一致,笔者比较赞同后者的观点,因为所谓表面缺陷的“量值”与那个“粗”的表面粗糙度的可测试值根本无明显的界限,统称为表面粗糙度岂不更简单,当然这不包括那些明显的缺陷。

同时,应该指明的是,国内外已将光洁度(iFinhs)与粗糙度统称为粗糙度.

图1：表示四种不同类型光学抛光表面的粗糙度图形

图1表示四种不同类型光学抛光表面的粗糙度图形。抛光后的熔石英最光滑,右测三个表面看上去都有光泽,而左测那个表面有划痕和沟槽而引起“灰暗层”。图2表示三种类型表面特性。

描述表面粗糙度有两个主要特征:垂直方向一粗糙度高度或深度(iHghoreDptha)和水平方向一粗糙度横向尺度(Lateral以mension)。

按GBIO31一68建议,表面粗糙度参数采用下面三项:轮廓算术平均偏差Ra,微观不平度+点高度ZR及轮廓最大高度均。除Ra外,国内外通常表征表面粗糙度参数还有峰谷值尸V,标准偏差Rq或称均方差Rms.

表征粗糙度横向参数有:轮廓的均方根波长匆,轮廓的平均波长从等。

表1示出国外不同光学元件表面粗糙的范围。这些数值在美国市场上是公认的或者说是被接受的,也可提供我们作为表面粗糙度技术要求的参考。

 

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