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粗糙度轮廓仪使用方法

粗糙度轮廓仪使用方法

便携式光学表面轮廓仪
便携式光学表面轮廓仪
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发布时间:
2020-06-06 20:39

便携式光学表面轮廓仪的性能介绍

便携式光学表面轮廓仪的干涉成像系统采用Mirau干涉显微物镜,放大倍率为20倍;采用PZT(压电陶瓷微位移器)实现相移的位移系统;测量台和整体框架的机械机构设计可实现正置和倒置两种工作模式,使被测件的横向尺寸不受限制,提高了仪器的适用性;通过数字CCD与软件系统采集处理干涉图像,对干涉图进行解算获得被测面的轮廓。若需要对被测件的批量测量,切换被测件时被测面和系统么间的工作距离变化很小,只需微小的调节便可W快速测量,具有较高的测量效率。

便携式光学表面轮廓仪的实物外观如图所示,由显示器、工控机、驱动电源箱和干涉显微镜系统组成:



仪器的主要技术指标为:









技术
9999340 - MESSPLATZ XC 2 MarWin MarSurf
9036396 - Messplatz MarSurf XC 2 mit ST 500 ohne PC


接触速度(Z 方向)
0.1 至 1 mm/s
0.1 至 1 mm/s


测杆长度
175 mm, 350 mm
175 mm, 350 mm


测量速度(文本)
0.2 mm/s 至 4 mm/s
0.2 mm/s 至 4 mm/s


针尖半径
25 µm
25 µm


扫描长度末尾(X 方向)
120 mm
120 mm


分辨率
Z 方向,相对探针针头:0.38 µm(350 mm 测杆)/ 0.19 µm(175 mm 测杆)
Z 方向,相对探针针头:0.38 µm(350 mm 测杆)/ 0.19 µm(175 mm 测杆)


 
在 Z 方向,相对于测量系统:0.04 µm
在 Z 方向,相对于测量系统:0.04 µm


扫描长度开始(X 方向)
0.2 mm
0.2 mm


取样角
在平滑表面上,取决于偏差:后缘高至 88°,前缘高至 77°
在平滑表面上,取决于偏差:后缘高至 88°,前缘高至 77°


定位速度(文本)
X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s
X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s


 
Z 方向:0.2 至 10 mm/s
Z 方向:0.2 至 10 mm/s


导块偏差
< 1 µm(超过 120 mm)
< 1 µm(超过 120 mm)


测量范围 mm
(Z 方向)50 mm
(Z 方向)50 mm


扫描长度(文本)
0.2 mm 至 120 mm
0.2 mm 至 120 mm


测量力 (N)
1 mN 至 120 mN
1 mN 至 120 mN




通过H维图像显示功能,可W方便的观察被测表面的H维形貌和细节特征。该功能具有下特点:

(1)支持光照效果、网格效果、漫反射效果兰种显示模式;

(2)可任意旋转、缩放,实现360度全方位观看;

(3)光强可调,便于观察细节形貌;

(4)支持横纵比例与采样密度调节,实现信息量与处理速度的平衡。

光学表面粗糙度轮廓仪测量技术方法
光学表面粗糙度轮廓仪测量技术方法
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发布时间:
2020-06-11 20:11
粗糙度廓测量仪是广泛应用的自动化精密测量设备,采用一条轮廓中线作为评定基准,借助评定参数:轮廓算术平均偏差 Ro、微光不平度十点高度Rs、轮廓最大高度Ry、轮廓微观不平度的平均间距Sm、轮廓的单峰平均间距S、轮廓支撑长度率tp等六个参数对表面质量进行评定,终得到所需表面粗糙度的测试检测仪器,可满足对表面微观与宏观几何形貌进行研究的需要。具有测量精度高、技术性能优良、使用范围广泛、操作简便等优点。由
粗糙度轮廓仪的误差修正方法
粗糙度轮廓仪的误差修正方法
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发布时间:
2020-06-10 20:13
在许多粗糙度轮廓仪测量粗糙度参数中,轮廓算术平均偏差Ra是最常用的重要参数之一。测量Ra时,所用粗糙度轮廓仪的精度及被测工件的表面状态对测量的准确度有很大影响,通常用仪器所配置的标准样板对轮廓仪进行误差调校。但在实际使用中发现,用同一台轮廓仪测量样板与工件所产生的误差相差很大。通过分析,提出了对表面粗糙度Ra测量结果的修正方法,供探讨。图1:触针半径对测量结果的影响粗糙度轮廓仪触针半径r及被测件表
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